該系列產(chǎn)品內部采用CMOS混合信號調理芯片(內含倍率可調PGA和24-bit Σ-ΔADC)對MEMS芯體的輸出進(jìn)行放大,校準和補償,能將-10kPa至+10kPa以及 -350kPa至+350kPa的不同壓力量程信號轉換為可自定義輸出范圍(0~5V)的模擬信號以及數字I2C信號。同時(shí),內置的MEMS差壓壓力芯體是基于高靈敏度的單晶硅壓阻效應并采用先進(jìn)的硅硅鍵合CSOI MEMS微加工工藝設計而成,MEMS芯體生命周期內精度和穩定性?xún)?yōu)于1%F.S.。
產(chǎn)品主要特點(diǎn)如下:
高精度低功耗:高度線(xiàn)性,穩定性好,無(wú)需校準,100%溫度補償,出廠(chǎng)精度優(yōu)于±1%F.S.,生命周期內精度優(yōu)于±2%F.S.。
多種輸出方式:支持模擬絕對輸出以及數字I2C輸出,適用于多種應用需求,簡(jiǎn)單便利,可移植性好。
定制化產(chǎn)品:支持-10kPa~+10kPa以及-350kPa~+350kPa等多款量程定制,適用于多種壓力應用場(chǎng)景,高靈活性。
寬溫度范圍:-20℃~70℃的工作溫度,可適用于各類(lèi)惡劣的工作環(huán)境;同時(shí),0℃~70℃的溫度補償范圍可以減少溫度變化對產(chǎn)品性能的影響,保障產(chǎn)品的穩定性。
雙氣嘴封裝形式:采用符合業(yè)界JEDEC標準的雙氣嘴SOIC-16封裝形式,可以pin-to-pin兼容SMI微差壓系列產(chǎn)品;具有較高可靠性與應力消除特性,在保證產(chǎn)品優(yōu)異性能和可靠性的同時(shí)方便客戶(hù)焊接和使用。
納芯微不僅擁有自主研發(fā)的MEMS設計與封裝技術(shù)以及多壓力溫度點(diǎn)自動(dòng)化批量標定技術(shù);可以為客戶(hù)提供更靈活的交付,降低供應鏈風(fēng)險;還可以根據客戶(hù)需求提供定制化合封產(chǎn)品,滿(mǎn)足不同場(chǎng)景的應用需求。